ЭЛЕКТРОННАЯ ТЕМПЕРАТУРА И РАСПРЕДЕЛЕНИЕ ПРОСТРАНСТВЕННОГО ЗАРЯДА В ГАЗОРАЗРЯДНОЙ ПЛАЗМЕ ... : ELECTRON TEMPERATURE AND SPACE CHARGE DISTRIBUTION IN GAS-DISCHARGE PLASMA ...
Низкотемпературная плазма используется в различных сферах электроники. Например, в микроплазменных терагерцовых усилителях бегущей волны, в которых электронный пучок заменяется плазмой, для измерения магнитных полей, в микроплазменных устройствах Холла для измерения концентрации и подвижности носите...
| Main Authors: | , |
|---|---|
| Format: | Text |
| Language: | unknown |
| Published: |
Радиотехнические и телекоммуникационные системы
2023
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://dx.doi.org/10.24412/2221-2574-2023-3-68-74 https://cyberleninka.ru/article/n/elektronnaya-temperatura-i-raspredelenie-prostranstvennogo-zaryada-v-gazorazryadnoy-plazme |
| Summary: | Низкотемпературная плазма используется в различных сферах электроники. Например, в микроплазменных терагерцовых усилителях бегущей волны, в которых электронный пучок заменяется плазмой, для измерения магнитных полей, в микроплазменных устройствах Холла для измерения концентрации и подвижности носителей заряда. Для протекания электрического тока в газе необходимо, чтобы происходила ионизация нейтральных частиц ионами. При этом газ выходит из состояния теплового равновесия. При тепловом равновесии выполняется условие ионизационного равновесия, из которого вытекает соотношение Саха, определяющее отношение, которое значительно возрастает. А для случая неравновесия требуется, чтобы наиболее активными частицами были электроны. Электронная температура и пространственный заряд в низкотемпературной плазме может приводить к изменению физических свойств соответствующих плазменных приборов, их параметров и временной нестабильности. Знание аналитических зависимостей распределения пространственного заряда и электронной ... : Low-temperature plasma is used in various electronics areas, for example, in microplasma terahertz amplifiers of traveling wave, where the electron beam is replaced by plasma to measure magnetic fields. It is also used in microplasma Hall devices for measuring the concentration and charge-carrier mobility. Neutral particles ionization by ions is required for electric current to flow in a gas. Thereby the gas gets out of the state of thermal balance. The condition of ionization equilibrium is met in thermal equilibrium, from which Saha equa-tion follows and it increases significantly. Whereas electrons should be the most active particles in case of disequilibrium. Electron temperature and space charge in low-temperature plasma can result in changes in physical properties of the corresponding plasma devices, their parameters and temporal instability. The knowledge of analytical dependences of space charge distribution and electron temperature of gas-discharge plasma in certain modes of electric current flow ... |
|---|