Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription
International audience *
| Main Authors: | , , , , |
|---|---|
| Other Authors: | , |
| Format: | Conference Object |
| Language: | French |
| Published: |
HAL CCSD
2002
|
| Subjects: | |
| Online Access: | https://hal.science/hal-02345640 |
| id |
ftimtatlantique:oai:HAL:hal-02345640v1 |
|---|---|
| record_format |
openpolar |
| spelling |
ftimtatlantique:oai:HAL:hal-02345640v1 2023-11-12T04:16:55+01:00 Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription Batte, T. Guezou, F. Bosc, Dominique Hardy, Isabelle Grosso, Philippe Département Optique (OPT) Université européenne de Bretagne - European University of Brittany (UEB)-Télécom Bretagne-Institut Mines-Télécom Paris (IMT) Dijon, Faroe Islands 2002-08-20 https://hal.science/hal-02345640 fr fre HAL CCSD hal-02345640 https://hal.science/hal-02345640 Actes JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France) JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France) https://hal.science/hal-02345640 JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France), Aug 2002, Dijon, Îles Féroé. pp.164 - 166 [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic info:eu-repo/semantics/conferenceObject Conference papers 2002 ftimtatlantique 2023-10-18T10:40:29Z International audience * Conference Object Faroe Islands Archives ouvertes Hal IMT Atlantique Faroe Islands |
| institution |
Open Polar |
| collection |
Archives ouvertes Hal IMT Atlantique |
| op_collection_id |
ftimtatlantique |
| language |
French |
| topic |
[SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic |
| spellingShingle |
[SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic Batte, T. Guezou, F. Bosc, Dominique Hardy, Isabelle Grosso, Philippe Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription |
| topic_facet |
[SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic |
| description |
International audience * |
| author2 |
Département Optique (OPT) Université européenne de Bretagne - European University of Brittany (UEB)-Télécom Bretagne-Institut Mines-Télécom Paris (IMT) |
| format |
Conference Object |
| author |
Batte, T. Guezou, F. Bosc, Dominique Hardy, Isabelle Grosso, Philippe |
| author_facet |
Batte, T. Guezou, F. Bosc, Dominique Hardy, Isabelle Grosso, Philippe |
| author_sort |
Batte, T. |
| title |
Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription |
| title_short |
Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription |
| title_full |
Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription |
| title_fullStr |
Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription |
| title_full_unstemmed |
Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription |
| title_sort |
optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription |
| publisher |
HAL CCSD |
| publishDate |
2002 |
| url |
https://hal.science/hal-02345640 |
| op_coverage |
Dijon, Faroe Islands |
| geographic |
Faroe Islands |
| geographic_facet |
Faroe Islands |
| genre |
Faroe Islands |
| genre_facet |
Faroe Islands |
| op_source |
Actes JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France) JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France) https://hal.science/hal-02345640 JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France), Aug 2002, Dijon, Îles Féroé. pp.164 - 166 |
| op_relation |
hal-02345640 https://hal.science/hal-02345640 |
| _version_ |
1782333957750128640 |