Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription
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ftimtatlantique:oai:HAL:hal-02345640v1 2023-11-12T04:16:55+01:00 Optique intégrée polymère à base de photoresist, deux voies possibles : photolithographie directe et photoinscription Batte, T. Guezou, F. Bosc, Dominique Hardy, Isabelle Grosso, Philippe Département Optique (OPT) Université européenne de Bretagne - European University of Brittany (UEB)-Télécom Bretagne-Institut Mines-Télécom Paris (IMT) Dijon, Faroe Islands 2002-08-20 https://hal.science/hal-02345640 fr fre HAL CCSD hal-02345640 https://hal.science/hal-02345640 Actes JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France) JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France) https://hal.science/hal-02345640 JNOG 2002 (21è Journées Nationales d'Optique Guidée - Dijon, France), Aug 2002, Dijon, Îles Féroé. pp.164 - 166 [SPI.OPTI]Engineering Sciences [physics]/Optics / Photonic info:eu-repo/semantics/conferenceObject Conference papers 2002 ftimtatlantique 2023-10-18T10:40:29Z International audience * Conference Object Faroe Islands Archives ouvertes Hal IMT Atlantique Faroe Islands |
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